A Possagno torna nove volte per brevi e intensi periodi: nel 1792, nel 1795, nel 1798, quando a Roma imperversavano le fazioni antifrancesi, Canova decide di osservare qualche tempo di riposo e assaporare l'aria di casa, prima e dopo del suo viaggio a Vienna. A Possagno, mancandogli nella sua casa lo studio attrezzato per la scultura, si dedica alla modellazione di bozzetti e alla pittura. Nel 1799, in primavera, dipinge il Compianto di Cristo, le Grazie e l'Autoritratto dello scultore. Amareggiato dall'"avventura della mancata realizzazione della statua della "Religione Cattolica", decide di concentrare i capitali nella realizzazione di qualcosa di straordinario,destinato ad immortalare la memoria della sua arte.Nel 1918 (11 luglio) posa la prima pietra del Tempio che volle progettare e donare alla sua comunità come chiesa parrocchiale: il maestoso edificio sarà completato solo dieci anni dopo la sua morte. Nel 1820, conclude la pala dell'altare maggiore del Tempio, che ritoccherà nel 1821. Torna per l'ultima volta a Possagno nel 1822 e si mmala.Muore a Venezia nel 1822; il suo cuore viene depositato all'Accademia mentre il corpo viene portato dagli abitanti di Possagno nella città natale. Il suo corpo, per volere del fratellastro, fu traslato prima nella vecchia parrocchiale e, dal 1832, nel Tempio.